CN119616889A 真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法 （埃地沃兹日本有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119616889A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411922399.9

(22)申请日2017.11.10

(30)优先权数据

2016-2274562016.11.24JP(62)分案原申请数据

201711103957.92017.11.10

F04D29/52(2006.01)

F04D29/02(2006.01)

(71)申请人埃地沃兹日本有限公司地址日本千叶县

(72)发明人大立好伸前岛靖高阿田勉

(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001

专利代理师李婷后云钟

(51)Int.Cl.

F04D19/04(2006.01)

F04D29/32(2006.01)

权利要求书1页说明书14页附图10页

(54)发明名称

真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方

法

(57)摘要

CN119616889A本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。旋转体(4)具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体(4A)与构成涡轮分子泵