地方规范JJF鄂110-2024晶圆材料电阻特性测试系统片上标准电阻法-高清可复制版.pdf

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湖北省地方计量技术规范

JJF(鄂)110—2024

晶圆材料电阻特性测试系统校准规范

(片上标准电阻法)

CalibrationSpecificationforWaferMaterialResistance

CharacteristicTestingEquipment

(On-Wafer

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