CN119932542A 薄膜沉积设备的传送控制方法、装置和传送控制系统 (苏州迈为科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-28 发布于重庆
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CN119932542A 薄膜沉积设备的传送控制方法、装置和传送控制系统 (苏州迈为科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119932542A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510322279.3C23C14/54(2006.01)

C23C14/56(2006.01)

(22)申请日2025.03.18

(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司

地址215200江苏省苏州市吴江区芦荡路

228号

申请人苏州迈正科技有限公司

(72)发明人叶秋芳王登志王朝郭小钢

戴东亚周李明李五杨沈志锋

陆元根

(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限

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