CN119885961A 晶圆清洗冷却系统的优化方法与优化系统 (广东凯迪微智能装备有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-28 发布于重庆
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CN119885961A 晶圆清洗冷却系统的优化方法与优化系统 (广东凯迪微智能装备有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119885961A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202411991571.6

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人广东凯迪微智能装备有限公司

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