GB_T 30306-2023 中文版 电子工业超纯水系统通用技术规范.docxVIP

GB/T30306-2023中文版电子工业超纯水系统通用技术规范

前言

本文件为中华人民共和国推荐性国家标准GB/T30306-2023《电子工业超纯水系统通用技术规范》，由国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会联合发布，2023年正式实施。本标准针对电子工业超纯水系统的设计、制造、安装、调试、检验、验收及运维全流程制定统一通用技术准则，填补了电子行业多场景超纯水系统通用性技术标准空白。

本标准立足电子工业产业特性，适配集成电路、半导体分立器件、新型显示、光伏电子、精密电子元器件、电子封装等多领域超纯水应用场景，统筹超纯水水质分级、系统工艺、设备性能、材质要求、自控监测、施工验收、安全运维核心技术内容。相较于旧版行业导则，本版本重点优化了微量污染物管控、系统稳定性指标、节能节水参数、智能化监测要求，适配先进制程电子制造的超高精密用水需求。

本标准遵循《电子工业水污染物排放标准》《电子工业洁净厂房设计规范》《SEMI半导体超纯水标准》等国内外规范，兼顾技术先进性、行业通用性、工程落地性与经济合理性，是电子工业超纯水系统新建、改建、扩建、提质改造的核心技术依据，也可作为设备选型、工程招投标、质量验收、行业审计的标准化文件。

1总则

1.1编制目的

1.1.1统一电子工业超纯水系统的技术定义、水质分级、工艺配置、设备参数、验收标准，规范行业设计与制造乱象，杜绝非标系统