集成电路产业园洁净车间建设设计方案.docx

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集成电路产业园洁净车间建设设计方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、项目概述 3

二、建设目标 5

三、园区定位 6

四、功能分区 7

五、总体布局 11

六、洁净等级 13

七、建筑单体设计 16

八、结构选型 19

九、围护系统 21

十、洁净室平面 25

十一、气流组织 27

十二、空调系统 29

十三、给排水系统 32

十四、供配电系统 36

十五、照明系统 38

十六、弱电系统 42

十七、自控系统 44

十八、消防设计 48

十九、安全设计 51

二十、节能设计 53

二十一、环保

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