CN119852237A 一种晶圆承载装置、检测设备及检测方法 (杭州光研科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-29 发布于重庆
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CN119852237A 一种晶圆承载装置、检测设备及检测方法 (杭州光研科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119852237A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510336037.X

(22)申请日2025.03.21

(71)申请人杭州光研科技有限公司

地址311200浙江省杭州市萧山区经济技

术开发区建设二路858号集成电路设

计产业园B幢103室

(72)发明人陈海龙郭晓忠翁杰

(74)专利代理机构深圳鼎丞佰瑞知识产权代理

有限公司441149

专利代理师芦艳洁

(51)Int.Cl.

H01L21/687(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

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