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特种气体测试题及答案考前必备.docx

特种气体测试题及答案考前必备.docx

    特种气体测试题及答案考前必备

    一、单项选择题（总分30分）

    1.特种气体通常是指纯度高于普通工业气体，主要用于半导体、激光、医疗等特定工业领域的气体。下列哪项不属于特种气体在半导体制造中的主要应用？

    A.光刻工艺

    B.刻蚀工艺

    C.外延生长

    D.建筑装修

    答案：D

    2.在气体纯度表示法中，“5N”代表什么含义？

    A.杂质含量为0.5%

    B.纯度为99.999%

    C.杂质含量为0.005%

    D.纯度为99.5%

    答案：B

    3.高纯氩气在半导体制造中主要作为保护气使用，其主要作用是？

    A.提供反应原料

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