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CN119859567A 一种硅片清洗剂及硅片表面条带状颗粒分布的清洗方法 （上海中欣晶圆半导体科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-05-29 发布于重庆
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CN119859567A 一种硅片清洗剂及硅片表面条带状颗粒分布的清洗方法 （上海中欣晶圆半导体科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119859567A

    (43)申请公布日2025.04.22

    (21)申请号202411981785.5C11D3/34(2006.01)

    C11D3/04(2006.01)

    (22)申请日2024.12.31

    C11D3/60(2006.01)

    (71)申请人上海中欣晶圆半导体科技有限公司H01L21/02(2006.01)

    地址201900上海市宝山区山连路181号

    (72)发明人

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