CN119627021A 测试结构及测试方法 （中芯国际集成电路制造(上海)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119627021A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202311171395.7

(22)申请日2023.09.12

(71)申请人中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

地址201203上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区张江路18号

(72)发明人关伟明赵丹洋

(74)专利代理机构上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31327

专利代理师高静

(51)Int.Cl.

H01L23/544(2006.01)

G01R31/26(2020.01)

G01R31/52(2020.01)

G01R31/54(2020.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图2页

(54)发明名称

测试结构及测试方法

(57)摘要

CN119627021A一种测试结构及测试方法，结构包括：第一互连结构包括第一梳柄部以及与第一梳柄部电连接的第一梳齿部，第一梳齿部与部分第一金属线相电连接；第二互连结构包括与第一梳柄部相背离的第二梳柄部以及与第二梳柄部电连接的第二梳齿部，第二梳齿部与第一梳齿部相互交叉设置，且第二梳齿部与剩余的第一金属线相电连接；第三互连结构包括将相邻第二金属线构成串联通路的第一互连层，与第二