CN119890118A 一种基于视觉的晶圆预对准系统和方法 (广东华矽半导体设备有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-30 发布于重庆
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CN119890118A 一种基于视觉的晶圆预对准系统和方法 (广东华矽半导体设备有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119890118A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202411953270.4G06T7/136(2017.01)

G06T5/40(2006.01)

(22)申请日2024.12.27

(71)申请人广东华矽半导体设备有限公司

地址523000广东省东莞市松山湖园区新

竹路4号11栋1单元101室

(72)发明人胡晓增梁经伦郭龙龙张文涛

陈金宇刘雨成罗南生

(74)专利代理机构广东中科小顶知识产权代理

事务所(普通合伙)44926

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