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半导体厂职业健康安全试题库及答案

一、单项选择题（每题2分，共30题）

1.半导体厂洁净室内使用的去离子水（DIWater）主要用于清洗晶圆，其pH值通常控制在（）范围内？

A.4-5

B.6-7

C.8-9

D.10-11

答案：B（去离子水需保持中性以避免腐蚀晶圆，pH值6-7为标准范围）

2.光刻工艺中使用的光刻胶属于（）类化学品？

A.强酸

B.强碱

C.有机溶剂

D.剧毒气体

答案：C（光刻胶主要成分为树脂、感光剂和有机溶剂，如丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA））

3.半导体厂特气柜（GasCabinet）的紧急切断阀（ESDValve）应在（）触发时自动关闭