CVD金刚石分类与应用前景分析.pdf

CVD金刚石的分类及其应用前景

引言

器和量子技术等领域具有不可替代的优势高质量单晶金刚石的生长速率和尺寸是制约其广泛应用的主要瓶颈年美国卡内基研究所通过提高甲烷浓度和添加氮气将生长速率提升了两个数量级年中国科学院宁波材料所研发的创新工艺将单晶金刚石片的成本降低了推了其产业化进

CVD金刚石(ChemicalVaporDepositionDiamond)是通过化学气相

沉积法制备的人造金刚石材料,具有极高的硬度、优异的热导率和宽光谱透光

性等独特性能。随着制备技术的不断进步,

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