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洁净室污染控制的基本原理洁净状态的维持洁净状态的维持通常依靠如下几类屏障：光滑的洁净表面气锁防护性着装（头罩、护目镜、操作服、脚套、手套）HVAC系统人员的正确行为和恰当的消毒办法第6页
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