CN119369244A 晶圆边缘抛光方法和抛光装置 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119369244A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411959835.X

(22)申请日2024.12.30

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人王凯杰王科郭垒刘浩洋

庄鑫

(51)Int.Cl.

B24B21/00(2006.01)

B24B1/00(2006.01)

B24B21/18(2006.01)

B24B55/08(2006.01)

B24B47/20(2006.01)

B24B49/00(2012.01)

H01L21