CN119776839A 采用无磨料的铜cmp抛光液控制表面凹凸速率差的方法 (江苏海洋大学).pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约9.7千字
  • 约 9页
  • 2026-06-01 发布于重庆
  • 举报

CN119776839A 采用无磨料的铜cmp抛光液控制表面凹凸速率差的方法 (江苏海洋大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119776839A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202411977078.9

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人江苏海洋大学

地址222005

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档