CN119780352A 基板缺陷检测方法及系统 （合光光掩模科技(安徽)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119780352A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202411995169.5

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人合光光掩模科技（安徽）有限公司

地址230601安徽省合肥市经济技术开发

区空港经济示范区硕放路1号新桥集

成电路科技园研发楼103-3室

(72)发明人李晓培张健澄

(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务

所(普通合伙)31237

专利代理师顾丹丽

(51)Int.Cl.

G01N33/00(2006.01)

G01B21/00(2006.01)