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芯片封测制造项目ESD防护体系建立方案.docx

芯片封测制造项目ESD防护体系建立方案.docx

    芯片封测制造项目ESD防护体系建立方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、ESD防护目标 5

    三、适用范围 8

    四、生产流程ESD风险识别 8

    五、ESD管理组织架构 11

    六、岗位职责分工 15

    七、防静电分区规划 18

    八、地面与工位接地系统 21

    九、人员防护装备配置 24

    十、物料包装与流转控制 27

    十一、设备接地与屏蔽要求 29

    十二、环境温湿度控制 31

    十三、进入洁净区管理 34

    十四、作业行为控制规范 36

    十五、静电测试与监测体系 40

    十六、设备校准与点检机制 42

    十七、

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