半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件研发、生产项目环境影响报告书.pdfVIP

半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件

研发、生产项目

环境影响报告书

2024年4月

目录

概述1

1总则16

1.1编制依据16

1.2环境影响识别及评价因子筛选18

1.3评价执行标准19

1.4评价等级及评价范围25

1.5环境保护目标30

2项目概况与工程分析33

2.1现有工程概况33

2.2改扩建工程概况44

2.3工艺流程及产污环节55

2.4物料平衡58

2.5施工期污染源分析60

2.6营运期污染源分析61

2.7污染物产生排放情况汇总68

2.8项目建成前后企业污染源“三本帐”分析70

2.9总量控制70

3.区域环境概况72

3.1自然环境72

3.2东部新区核心区规划概况75

3.3与本项目有关现有污染源81

3.4区域污染源现状调查81

4环境质量现状评价83

5.环境影响预测与评价96

5.1施工期环境影响分析96

5.2营运期环境影响分析97

6.环境风险分析130

6.1评价等级判定130