CN119845974A 一种晶圆缺陷检测设备及方法 （北京同涞科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119845974A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202411936504.4

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人北京同涞科技有限公司

地址101300北京市顺义区金关北二街3号

院3号楼11层1156

(72)发明人王宏鑫

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/01(2006.01)

G01N1/34(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图6页