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- 2026-06-02 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119850568A
(43)申请公布日2025.04.18
(21)申请号202411946023.1G01N21/95(2006.01)
G01N21/88(2006.01)
(22)申请日2024.12.27
H01L21/66(2006.01)
(71)申请人视拓（苏州）工业自动化有限公司
地址215000江苏省苏州市相城区渭塘镇
爱格豪路35号14号厂房3层
(72)发明人惠洁李硕硕张永帅胡浩
顾云龙
(74)专利代理机构
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