ZL 202210016562.X-晶圆承载装置及晶圆表面平整度的控制方法-授权.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN116454007B

(45)授权公告日2026.05.29

(21)申请号202210016562.X审查员谢晶鑫

(22)申请日2022.01.07

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN116454007A

(43)申请公布日2023.07.18

(73)专利权人长鑫存储技术有限公司

地址230601安徽省合肥市经济技术开发

区空港工业园兴业大道388号

(72)发明人汪恒

(51)Int.Cl.

H10P72/76(2026.01)

H10P74/20(2026.01)

(56)对比文件

CN101738869A