ZL 202210371852.6-利用含Si层对金属栅极进行的接缝填充-授权.pdfVIP

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  • 2026-06-03 发布于重庆
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ZL 202210371852.6-利用含Si层对金属栅极进行的接缝填充-授权.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115376902B

(45)授权公告日2026.05.29

(21)申请号202210371852.6(51)Int.Cl.

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