CN119644570A 基于干涉条纹相位提取的实时自动对焦方法 （中科山海微(杭州)半导体技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119644570A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202510175040.8

(22)申请日2025.02.18

(71)申请人中科山海微（杭州）半导体技术有限公司

地址311101浙江省杭州市临平区乔司街

道科城街180号1幢2层213-229室

(72)发明人明名顾刚

(74)专利代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213

专利代理师程苾

(51)Int.Cl.

G02B21/00(2006.01)

G02B21/24(2006.01)

G01B11/02(2006.01)

G01N21/01(2006.01)

G01N21/88(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图1页

(54)发明名称

基于干涉条纹相位提取的实时自动对焦方

法

(57)摘要

CN119644570A本发明公开基于干涉条纹相位提取的实时自动对焦方法，具体步骤包括：导入初始干涉图像，将对焦状态位置设定为初始相移值并将其置零；检测系统运行时保持干涉图像视频流输入，通过改良迭代算法实时计算相移值和相位值；将计算结果换算成离焦值，控制PZT控制器完成对焦。本发明提出的自动对焦方法根据干涉条纹的相位移动获取离焦量，将高精度位移测量方法引入至自