CN119776994A 一种芯片生产用扩散炉温度控制方法、装置、设备及介质 （济南兰星电子有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119776994A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202411956318.7

(22)申请日2024.12.28

(71)申请人济南兰星电子有限公司

地址250200山东省济南市章丘区明水街

道赭山工业园

(72)发明人魏兴政李浩高飞

(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司

11508

专利代理师陈海丽

(51)Int.Cl.

C30B31/06(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

C30B31/18(2006.01)