CN202411743972.X-一种针对PVD靶材制备组件的可靠性测试方法及测试系统-发明公开.pdfVIP

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  • 2026-06-04 发布于重庆
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CN202411743972.X-一种针对PVD靶材制备组件的可靠性测试方法及测试系统-发明公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122130347A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202411743972.XH02S50/10(2014.01)

(22)申请日2024.11.

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