CN119742225A 一种基于可溶性牺牲层的图案化薄膜材料转移方法 (北京科技大学).pdfVIP

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  • 2026-06-04 发布于重庆
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CN119742225A 一种基于可溶性牺牲层的图案化薄膜材料转移方法 (北京科技大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119742225A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411944219.7

(22)申请日2024.12.27

(71)申请人北京科技大学

地址100083北京市海淀区学院路30号

(72)发明人张跃徐明杰张铮张先坤

杨佳佳王玉南尚金森

(74)专利代理机构北京盛询知识产权代理有限

公司11901

专利代理师杨芳

(51)Int.Cl.

H01L21/027(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

H10D30/01(2025.01)

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