《团体标准光伏硅单晶用石英坩埚内表面金属杂质含量的测定 电感耦合等离子质谱法》.docx

《团体标准光伏硅单晶用石英坩埚内表面金属杂质含量的测定 电感耦合等离子质谱法》.docx

ICS

29.045

CCS

H80

团体标准

T/CNIAXXXX—XXXX

光伏硅单晶拉制用石英坩埚

内表面金属杂质含量的测定电感耦合

等离子体质谱法

QuartzCrucibleforPhotovoltaicSiliconSingleCrystalPulling—DeterminationofMetalImpurityContentonInnerSurface—InductivelyCoupledPlasmaMassSpectrometry(ICP-MS)

(讨论稿)

FORMTEXTXXXX-FORMT

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