CN202411733412.6-一种混合进气装置以及半导体制造设备-发明公开.pdfVIP

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  • 2026-06-04 发布于重庆
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CN202411733412.6-一种混合进气装置以及半导体制造设备-发明公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122128807A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202411733412.6H01J37/32(2006.01)

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