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CN202411746286.8-衬底平坦化设备及其控制方法-发明公开.pdfVIP

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  • 2026-06-05 发布于重庆
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CN202411746286.8-衬底平坦化设备及其控制方法-发明公开.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN122138642A

    (43)申请公布日2026.06.02

    (21)申请号202411746286.8

    (22)申请日2024.11.29

    (71)申请人华为技术有限公司

    地址518129广东省深圳市龙岗区坂田华

    为总部办公楼

    (72)发明人杨环羽

    (74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理

    有限公司11274

    专利代理师韦伟

    (51)Int.Cl.

    H10P72/00(2026.01)

    权利要求书2页说明书12页附图6页

    (54)发明名称

    衬底平坦化设备及其控制方法

    (57)摘要

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