CN120199723A 一种晶圆夹持机构、晶圆后处理装置及晶圆后处理方法 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120199723A

(43)申请公布日2025.06.24

(21)申请号202510365484.8

(22)申请日2024.12.25

(62)分案原申请数据

202411918399.12024.12.25

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

申请人华海清科（北京）科技有限公司

(72)发明人张美美徐俊成郭鹏

(51)Int.Cl.

H01L21/687(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书12页附图10页

(54)发明名称