传感器原理及应用——面向智慧农业 课件 第4章 CCD图像传感器与机器视觉技术.pptx

第4章

CCD图像检测技术

MOS(MetalOxideSemiconductor)电容器是构成CCD的最基本单元(光敏元)。CCD(ChargeCoupledDevice,电荷耦合器件)是在半导体硅片上制作成百上千个光敏元，一个光敏元又称一个像素，在半导体硅平面上光敏元按线阵或面阵有规则地排列。CCD图像传感器在P型或N型硅衬底上生长一层很薄（约120nm）的二氧化硅,再在二氧化硅薄层上依次序沉积金属栅极,形成规则的MOS电容器阵列，再加上两端输入及输出二极管就构成了CCD芯片。半导体作为底电极，称为“衬底”。衬底分为P型硅衬底和N型硅衬底，由于电子迁移率高，大多数CCD选