CN120055987A 用于金属cmp的晶圆监测方法、cmp设备、计算机存储介质 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120055987A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510429615.4

(22)申请日2024.12.23

(62)分案原申请数据

202411898257.32024.12.23

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人张丛王同庆路新春张美洁

(51)Int.Cl.

B24B37/005(2012.01)

B24B49/12(2006.01)

B24B49/10(2006.01)

B24B57/02(2006.01)

B24B37/10(2012.01)

H