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电子真空镀膜工专项知识考试复习题库（附答案）

单选题

1.关于溅射薄膜的应力，下列说法错误的是（）。

A、压应力通常使薄膜变薄

B、张应力通常使薄膜变厚

C、膜厚越厚，内应力越容易释放

参考答案：C

2.电子真空镀膜过程中，溅射靶材与基片之间形成等离子体的主要机理是？

A、辉光放电

B、热辐射

C、导电加热

D、电磁感应

参考答案：A

3.真空镀膜中，为了减少离子轰击对薄膜造成的损伤，有时会采用低偏压溅射或（）。

A、高偏压溅射

B、脉冲溅射

C、直流溅射（低功率）

参考答案：C

4.在电阻蒸发法制备薄膜时，蒸发舟通常由什么材料制成？

A、铝

B、钨（