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半导体材料生产线项目废气处理工程方案.docx

半导体材料生产线项目废气处理工程方案.docx

    半导体材料生产线项目废气处理工程方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、工程概况 5

    三、生产工艺与废气源 7

    四、废气特性分析 9

    五、设计目标 11

    六、设计原则 15

    七、处理对象与边界 17

    八、废气分类收集 21

    九、管道系统设计 23

    十、预处理单元 26

    十一、酸性废气处理 28

    十二、碱性废气处理 30

    十三、有机废气处理 33

    十四、含尘废气处理 35

    十五、特殊污染物控制 38

    十六、风量平衡设计 43

    十七、设备选型 45

    十八、控制系统设计 47

    十九、运行参数设置

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