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GB/T46173-2025电子气体惰性稀有气体

目录

02

技术要求规范

01

标准概述

03

测试与分析方法

04

生产与安全管理

05

应用领域与案例

06

合规与实施指南

标准概述

01

背景与发展历程

技术积累与突破

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口，汇集了昊华气体有限公司、华测检测认证集团、中国计量科学研究院等40余家行业领军单位的专业技术力量，历时多年研究制定而成。

国际接轨

标准的技术要求与国际先进水平接轨，填补了我国在惰性稀有气体标准化领域的空白，标志着我国电子气体标准化体系建设进入新阶段。

产业需求驱动

随着我国半导体、光电显示、航空航天等高科技产业的快速发展，对高纯电子气体的需求日益增长，惰性稀有气体作为关键电子特气，其标准化需求凸显。

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02

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本标准旨在规范氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)和氡(Rn)等惰性稀有气体在电子工业应用中的技术要求、试验方法、检验规则及安全规范。

规范技术要求

通过统一的技术规范，提升国产电子气体的质量，增强国际竞争力，促进技术创新和国际贸易便利化。

提升产品质量

标准的实施将直接影响电子气体生产商、供应商、下游电子制造企业及相关检测机构，保障我国半导体、显示面板、光纤制造等高端电子产业的供应链安全。

保障供应链安全

标准适用于电子工业用高纯惰性