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量子芯片制造工艺与材料研究进展

目录

一、内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、量子芯片微纳加工工艺技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

超导量子比特的图形化制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1深紫外光刻与干法刻蚀工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.2真空封装与低温互连技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

离子阱芯片的微结构与材料加工．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1微纳加工对离子阱势阱形状的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.2捕获电极材料的选择与改性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

新兴量子计算模式的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.1光量子芯片的波导与微腔集成技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

3.2拓扑量子比特的物理结构制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

三、量子芯片关键材料科学进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

超导薄膜的制备与性能提