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GB/T46191-2025电子级五（二甲氨基）钽

目录

02

技术要求

01

标准概述

03

测试方法

04

应用场景

05

质量控制

06

实施与维护

标准概述

01

产业需求驱动

五(二甲氨基)钽(PDMAT)作为原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)工艺的关键前驱体，在制备氮化钽、氧化钽等高介电常数薄膜方面具有不可替代的作用，标准填补了国内相关技术规范的空白。

技术填补空白

提升国产化水平

通过标准化电子级五(二甲氨基)钽的生产和质量控制，提升国产材料的竞争力，减少对进口材料的依赖，保障产业链供应链安全。

中国半导体产业对高端前驱体材料的迫切需求，特别是在先进制程节点下对钽基薄膜沉积材料的技术要求日益严格，推动了该标准的制定。

背景与制定目的

主要范围与适用领域

材料规范

标准规定了半导体行业用电子级五(二甲氨基)钽的技术要求，包括有机纯度、元素杂质含量和无机纯度等关键指标。

检测方法

详细规范了有机纯度测定、元素杂质分析等技术检测方法，确保检测结果的准确性和可靠性。

包装与标志

对电子级五(二甲氨基)钽的包装、标志及随货资料提出了明确要求，确保材料在运输和存储过程中的安全与可追溯性。

适用领域

标准适用于集成电路制造中原子层沉积(ALD)和化学气相沉积(CVD)工艺所需的高纯度五(二甲氨基)钽前驱体材料的生产、检测和应用。

核心术语定义

原子层沉积(ALD)

一种