《传感器技术与应用》课件——3.4半导体压阻式.pptxVIP

传感器技术与应用3.4半导体压阻式传感器

半导体电阻应变片是一种利用半导体材料压阻效应的电阻型传感器。1.半导体压阻效应半导体材料在某一方向受到作用力时，它的电阻率会发生明显变化，这种现象被称为压阻效应，由压阻系数表示。

?半导体的压阻效应具有明显的各项异性，可用矩阵表示，这里我们不讨论半导体的晶向表示方法，只用结论。XYZFF施力方向和电流方向相同，称纵向压阻系数πl;1.半导体压阻效应压阻系数π随应力的方向和电流方向不同而不同施力方向和电流方向垂直时，称横向压阻系数πe。严格讲压阻系数共有四阶张量π（ijkl），81个分量。硅膜很薄时三维向量简化为二维，应力作用下膜片电