半导体器件微机电器件第52部分可拉伸MEMS的双轴拉伸试验方法标准立项发展报告.docxVIP

*

半导体器件微电子机械器件第52部分：可拉伸MEMS双轴拉伸试验方法标准立项发展报告

英文标题:StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part52:BiaxialtensiletestingmethodforstretchableMEMS

摘要

随着柔性电子技术的蓬勃发展，可拉伸微机电系统（MEMS）作为其核心部件，在可穿戴设备、柔性显示屏、生物医学传感器及软体机器人等领域展现出巨大的应用潜力。可拉伸MEMS器件的可靠性与寿命，很大程度上取决于其在复杂多轴载荷下的机械性能，尤其是双轴拉伸变形下的失效行为。然而，国际上一直缺乏统一、科学的标准测试方法来评估此类材料的双轴力学性能，导致不同研究机构和制造商之间的测试结果缺乏可比性，严重制约了该领域的技术交流与产业化进程。在此背景下，国际电工委员会（IEC）下属的TC47/SC47F（半导体器件-微机电系统分技术委员会）主导制定了IEC62047-52:2026《半导体器件-微电子机械器件-第52部分：可拉伸MEMS双轴拉伸试验方法》。本标准详细规定了一种采用十字形试件的双轴拉伸测试方法，适用于厚度在1微米至100微米之间的可拉伸MEMS材料，并明