电子企业洁净车间设计施工与管理规范.docx

电子企业洁净车间设计施工与管理规范

1设计规范

1.1洁净等级划分与设计依据

电子企业洁净车间需根据生产工艺的清洁度要求，依据《洁净厂房设计规范》GB50073-2013、《洁净室及相关受控环境》ISO14644系列标准划分等级，各典型工序对应等级为：高端芯片制造光刻工序为ISO1级~ISO4级，芯片晶圆加工为ISO4级~ISO5级，面板制造Array工序为ISO4级~ISO5级，芯片封装、面板模组组装为ISO6级~ISO7级，普通电子元器件组装、包装为ISO7级~ISO8级。所有设计参数必须满足对应等级的悬浮粒子、微生物控制要求。

1.2选址与平面布局设计

洁净