CN119654598A 用于euv图案化的金属氧化物抗蚀剂及其显影方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119654598A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202380046446.5

(22)申请日2023.07.21

(30)优先权数据

17/880,4792022.08.03US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.11

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0283642023.07.21

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/030275EN2024.02.08

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人哈马德·哈吉巴巴埃纳贾法巴迪高明辉

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师李彦丽

(51)Int.Cl.

G03F7/38(2006.01)

G03F7/36(2006.01)

G03F7/004(2006.01)

G03F7/20(2006.01)

H01L21/027(2006.01)

H01L21/308(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图10页

(54)发明名称

用于EUV图案化的金属氧化物抗蚀剂及其显

影方法

(57)摘要

CN119654598A一种用于处理衬底的方法包括在该衬底上形成金属氧