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半导体零部件洁净制程环境运维优化方案.docx

半导体零部件洁净制程环境运维优化方案.docx

    半导体零部件洁净制程环境运维优化方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、洁净室总体架构与规划 3

    二、HVAC系统主机房建设 6

    三、HVAC系统主机房改造 9

    四、HVAC系统主机房调试 13

    五、洁净室各区域空气洁净度控制 18

    六、洁净室各区域温湿度环境控制 20

    七、洁净室各区域沉降尘埃控制 25

    八、洁净室各区域压差梯度设定 28

    九、洁净室各区域气体偏离控制 31

    十、洁净室各区域气体浓度控制 33

    十一、洁净室各区域气体流速控制 36

    十二、洁净室各区域洁净室通风系统控制 39

    十三、洁净室各区域洁净室照明系统控

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