晶圆代工技术服务合同.docxVIP

晶圆代工技术服务合同

一、合同主体

甲方（委托方）：____________________

地址：______________________________

法定代表人：________________________

乙方（服务方）：____________________

地址：______________________________

法定代表人：________________________

二、服务内容与技术要求

（一）代工范围

乙方为甲方提供晶圆制造全流程服务，包括但不限于光刻、蚀刻、薄膜沉积、离子注入、化学机械抛光等工艺制程。具体技术节点为______纳米制程，晶圆尺寸为______毫米。

（二）技术标准

晶圆良率不低于______%，关键尺寸均匀性控制在±______纳米范围内，缺陷密度小于______/平方厘米。工艺参数及验收标准详见附件《技术规格书》。

三、交付与验收

（一）交付周期

乙方自收到甲方设计数据（GDSII文件）之日起______个工作日内完成首片流片，批量生产周期为每______片晶圆______个自然日。

（二）验收流程

甲方在收到晶圆后______个工作日内完成电性测试与可靠性验证。若质量不达标，乙方应在______个工作日内免费返工或补偿合格晶圆。

四、费用与支付

（一）服务费用

工程批流片费：每项目人民币______元；

批量代工费