CN119346525A 溶体碳化硅器件清洗装置及清洗方法 （深圳市云在上半导体材料有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119346525A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411916048.7H01L21/67(2006.01)

(22)申请日2024.12.24

(71)申请人深圳市云在上半导体材料有限公司

地址518106广东省深圳市光明区马田街

道新庄社区大围平塘A5栋202

申请人湖北云在上半导体有限公司

(72)发明人张桂华刘畅

(74)专利代理机构北京智专天权知识产权代理

有限公司16248

专利代理师苏利

(51)Int.Cl.

B08B3/10(2006.01)

B08B3/14(200