GB-T 32996-2025-表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜标准研究报告.docx

表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜标准化发展报告

英文标题

SurfaceChemicalAnalysis—AnalysisofMetalOxideFilmsbyGlowDischargeOpticalEmissionSpectrometry:AStandardizationDevelopmentReport

摘要

随着材料科学与表面工程技术的快速发展，金属氧化物膜在电子、光学、催化及防护涂层等领域的应用日益广泛，其成分与厚度等关键参数的精确分析成为质量控制与工艺优化的核心需求。辉光放电发射光谱法（GD-OES）凭借其深度分辨率高、分析速度快、可同