CN119340258A 一种晶圆传输方法、晶圆加工方法及晶圆加工装置 (上海邦芯半导体科技有限公司).pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.67万字
  • 约 15页
  • 2026-06-08 发布于重庆
  • 举报

CN119340258A 一种晶圆传输方法、晶圆加工方法及晶圆加工装置 (上海邦芯半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119340258A

(43)申请公布日2025.01.21

(21)申请号202411908022.8

(22)申请日2024.12.24

(71)申请人上海邦芯半导体科

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档