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化合物半导体的外延生长设备相关项目研究报告
目录
TOC\h\z5367前言 3
13965一、化合物半导体的外延生长设备项目绪论 3
22600(一)、化合物半导体的外延生长设备项目名称及建设性质 3
21716(二)、化合物半导体的外延生长设备项目承办单位 4
6761(三)、化合物半导体的外延生长设备项目定位及建设理由 5
14002(四)、报告编制说明 6
32428(五)、化合物半导体的外延生长设备项目建设选址 8
25705(六)、化合物半导体的外延生长设备项目生产规模 9
32164(七)、建筑物建设规模
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