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钨钛合金溅射靶材微观晶粒细化工艺及其性能调控

目录

一、内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3研究目的与内容框架．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

二、钨钛合金靶材的基础科学．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1合金牌号与成分设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.2原始坯料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.3溅射沉积技术基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

三、微晶粒细化制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.1工艺参数设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．