X射线荧光光谱基本参数法：原理、挑战及薄膜样品表征应用.docx

X射线荧光光谱基本参数法：原理、挑战及薄膜样品表征应用

一、引言

1.1研究背景与意义

自1895年德国物理学家伦琴发现X射线以来，X射线相关技术取得了飞速发展。1896年，法国物理学家乔治发现了X射线荧光，为X射线荧光光谱技术的诞生奠定了基础。1948年，弗里德曼和伯克斯研制了第一台商品性的波长色散X射线荧光光谱仪，标志着X射线荧光光谱分析技术进入实用阶段。此后，随着微电子学、计算机科学、核科学和材料学的迅猛发展，X射线荧光光谱技术不断革新，应用领域也日益广泛。

X射线荧光光谱技术是一种基于X射线与物质相互作用产生荧光的分析方法。当高能X射线照射